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納米加工選用電子束光刻的參數(shù)

  • 發(fā)布日期:2022-05-24      瀏覽次數(shù):1809
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      企業(yè)介紹:Raith 是納米加工、電子束光刻、FIB SEM 納米加工、納米工程和逆向工程應(yīng)用的精密技術(shù)制造商。
      客戶包括涉及納米技術(shù)研究和材料科學(xué)各個(gè)領(lǐng)域的和其他組織,以及將納米技術(shù)用于特定產(chǎn)品應(yīng)用或生產(chǎn)化合物半導(dǎo)體的工業(yè)和中型企業(yè)。
      Raith 成立于 1980 年,總部位于德國(guó)多特蒙德,擁有 250 多名員工

      英國(guó)raith電子束光刻應(yīng)用:化合物半導(dǎo)體器件

      光電

      衍射光學(xué)元件

      集成電路分析

      納米科學(xué)

      微工程和納米工程

      量子技術(shù)

      納米光子學(xué)


      英國(guó)raith電子束光刻產(chǎn)品:
      電子束光刻系統(tǒng)
      EBL系統(tǒng)
      FIB-SEM系統(tǒng)
      大面積SEM成像
      納米光刻升級(jí)套件
      無(wú)掩模激光光刻系統(tǒng)

      英國(guó)raith電子束光刻產(chǎn)品型號(hào):
      EBPG Plus
      VOYAGER
      Raith150
      eLINE Plus
      PIONEER Two

      英國(guó)raith電子束光刻產(chǎn)品描述:
      具有分辨率和熱屏蔽的電子束寫(xiě)入器
      RAITH150 Two 已成為通用高分辨率電子束光刻系統(tǒng)的產(chǎn)品。它在的研究和納米技術(shù)得到應(yīng)用,并已證明其在24/7 全天候使用中的穩(wěn)健性。RAITH150 兩電子束寫(xiě)入器旨在幫助從面向單一器件的研究向小批量納米器件制造的過(guò)渡,從而彌合學(xué)術(shù)和工業(yè)研發(fā)之間在工業(yè)設(shè)備原型設(shè)計(jì)方面的差距應(yīng)用程序。

      ·
      產(chǎn)品屬性
      分辨率電子束光刻
      ·自動(dòng)晶圓級(jí)電子束寫(xiě)入
      ·30 kV Gemini 柱技術(shù)
      ·低電壓曝光和成像
      ·隔熱罩,和
      ·*的分室設(shè)置,
      RAITH150 Two 可以曝光小于 5 nm的結(jié)構(gòu),適用于從幾毫米到8 英寸晶圓的樣品尺寸。
      憑借其低 kV 成像能力,RAITH150 兩電子束寫(xiě)入器還允許對(duì)表面敏感的高分辨率檢測(cè)和過(guò)程控制。利用 SEM 成像和尺寸計(jì)量的所有軟件功能,可以使用與器件制造相同的工具有效地縮短器件優(yōu)化過(guò)程。

      特點(diǎn):
      線寬
      數(shù)字模式發(fā)生器
      樣品處理
      8納米
      20兆赫
       






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